クリーンルーム
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 クリーンルームは、気流方式も空調方式も数多くの組合わせがあります。そこで今回は最も施工例の多い乱流方式で、湿度も含む精密空調をパッケージエアコンで制御するフロー図を参考例といたしました。 塵埃を取るHEPAフィルターはフィルターボックスに入れて天井に埋め込み、ダクト繋ぎこみます。パンチングで拡散しながら吹き出し、エアコン下部から吸い込み循環します。クリーンルームが常に陽圧になるようOAを強制的に取り入れます。精密空調は冷却コイルで冷却・除湿を行い、加熱はPID制御によるヒーターでの再加熱を、加湿は加湿器のヒーターを同じくPID制御することで非常に高い精度を保っています。クリーンルームフロー図

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