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 クリーンブース(クリーンルーム)内のゴミを高精度で捕集するのがHEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルターです。HEPAフィルターは0.3μmの粒子を99.99%以上捕集します。

 HEPAフィルターで考慮しなくてはならないのが、高い圧力損失です。換気扇などでは、ほとんど風は出ません。寿命はこの圧力損失で見ます。初期値の2倍になったら交換時期です。


HEPAフィルターの特徴

  1. 現在多く使われている多風量型HEPAフィルターは、ボード板のフレームにガラスペーパーのろ材と特殊加工紙のセパレーターで構成されています。
  2. HEPAフィルターは、規格(寸法・風量・圧力損失)さえ合えば、どこのメーカーの物でも交換可能です。

HEPAフィルター 仕様

※フィルター類は規格・性能とも非常に多種あります。価格等詳しくは、お問い合わせ下さい。

ULPAフィルターについて

 HEPAフィルターよりさらに捕集効率の高いULPAフィルター(Ultra Low Particulate Air)は、
0.1μm微粒子を99.9995%捕集します。100万個の0.1μm粒子が5個以下になる計算です。

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