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クリーンブースメーカーのエアーシャワー  HEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルターとは、空気中に浮遊する目に見えないレベルの小さな塵埃を捕集するための超高性能フィルターです。
 クリーンルームやクリーンブースなど高い清浄度を必要とする環境に用いられ、0.3μmの粒子を99.97%以上捕集する性能を有します。クリーン環境においては、FU(フィルターユニット)やFFU(ファンフィルターユニット)に組み込んで使用することが一般的です。
 フィルターには捕集効率や特性によって様々な種類があるため、お客様の必要とする清浄度のレベルや用途に応じて最適なものをお選び頂けます。


HEPAフィルターの特徴

  1. HEPAフィルターは消耗品のため、定期的な交換が必要となります。交換頻度は使用環境によって異なりますが、使用開始後から概ね3~5年が経過した時点で交換をご案内しております。
  2. HEPAフィルターは、規格(寸法・風量・圧力損失)さえ合えば、どこのメーカーの物でも交換可能です。

HEPAフィルター 仕様

種類 型式 サイズ
W×D×H
(mm)
定格風量
(m3/min)
初期圧力
損失(Pa)
最終圧力
損失(Pa)
製品重量
(kg)
捕集効率
(%)
フレーム ろ材 セパ
レータ
使用
温湿度
HEPA ATMC-17-E23 610×610×75 17 249 498 4.5 0.3μm
粒子にて
99.97%
以上
アルミ
ニウム
ガラス
ペーパー
アルミ
ニウム
60℃以下
95%RH
以下
ATMC-21-E23 610×760×75 21 249 498 5.0
ATMC-28-E4 610×610×150 28 249 498 8.5
ATMC-34-E4 610×760×150 34 249 498 10.0
ATMC-42-E4 610×915×150 42 249 498 15.0
ATMC-41-E42 610×610×290 41 249 498 16.0
ATMC-51-E42 610×760×290 51 249 498 19.0
ATMC-61-E42 610×915×290 61 249 498 27.0
ATMC-50-E42T 610×610×290 50 249±20 498 16.0
ATMC-62-E42T 610×760×290 62 249±20 498 19.0
ATMC-56-E48T 610×610×290 56 249±20 498 16.0
種類 型式 サイズ
W×D×H
(mm)
定格風量
(m3/min)
初期圧力
損失(Pa)
最終圧力
損失(Pa)
製品重量
(kg)
捕集効率
(%)
フレーム ろ材 セパ
レータ
使用
温湿度
中性能
95%
DST-18-95 500×500×305 18 88 196 7.5 95 ベニヤ
合板
ガラス
フェルト
- 60℃以下
95%RH
以下
DST-28-95 600×600×305 28 88 196 9.0
DST-32-95 500×500×500 32 103 245 10.5
DST-50-95 600×600×610 50 118 245 15.5
中性能
85%
DST-18-85 500×500×305 18 69 176 7.5 85
DST-28-85 600×600×305 28 69 176 9.0
DST-32-85 500×500×500 32 88 196 10.5
DST-50-85 600×600×610 50 88 196 15.5
中性能
55%
DST-18-55 500×500×305 18 49 147 7.5 55
DST-28-55 600×600×305 28 49 147 9.0
DST-32-55 500×500×500 32 69 176 10.5
DST-50-55 600×600×610 50 69 176 15.5

※フィルター類は規格・性能とも非常に多種あります。価格等詳しくは、お問い合わせ下さい。

ULPAフィルターについて

 HEPAフィルターよりさらに捕集効率の高いULPAフィルター(Ultra Low Particulate Air)は、
0.1μm微粒子を99.9995%捕集します。100万個の0.1μm粒子が5個以下になる計算です。

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